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晶圆测试自动对焦系统

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晶圆测试自动对焦系统

产品介绍

技术优势

产品规格

放大倍数5X10X20X50X100X
景深14um3.5um1.6um0.9um0.6um
激光采样率5kHZ max
视频采样率




激光工作范围±12000um±4000um±1500um±500um±150um
视频工作范围±5000um±1000um±400um±100um±20um
精度激光模式:0.5倍物镜景深,视频0.25倍物镜景深
激光二极管激光660nm,670nm class llIR<2mw
工作温度范围+5℃ to + 50℃
波束形状45°倾斜激光线
传感器+线缆重量400g
接口重量400g
推荐BS50/50
激光自动聚焦循环时间

0.1s
自动追踪
图像自动聚焦循环时间

0.4s
自动追踪
混合自动聚焦循环时间

0.2s
自动追踪
电源ln仅传感器+12v Dc,带控制器LAF-C 24-48V
可选距离输出模拟量



信号质量输出模拟量0-10V&-10+10V&via RS232
通信数字信号RS232


激光开/关lnTTL&via RS232
相机同步lnTTL



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