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3D晶圆外观检测设备

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3D晶圆外观检测设备

产品介绍

技术优势

产品规格

型号JY-TD350
最大面板尺寸8-12英寸
最小检测深度350um
检测原理晶格双光子效应
缺陷特征尘埃、杂质等颗粒
应用晶圆光刻前道晶圆裸片
检测方式点阵检测
电源220VAC,3500W
气压85-115PSI(6-8kgf/cm2)
主机重量2000Kg
总尺寸L1.75*W1.4*H1.4m


产品介绍 技术优势 产品规格

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