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晶圆前道硅片粉尘颗粒测量

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晶圆前道硅片粉尘颗粒测量

产品介绍

技术优势

产品规格

型号JY-N05
最大面板尺寸8-12英寸
最小检测精度0.5um
缺陷特征尘埃、杂质等颗粒
应用晶圆光刻前道
资料登录格式AOI/VRS/AVI/or otherequipment
电源220VAC,3500W
气压85-115PSI(6-8kgf/cm2)
主机重量2000Kg
总尺寸L1.75*W1.4*H1.4m


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